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无尘车间标准所使用的粒径的测量单位是微米,1微米等于百万分之一米。
无尘车间的级别是按其空气洁净度划分的,美国联邦标准准209A至D的无尘车间分级最容易理解,但该等级正被最新版本E所取代,后来又被ISO-14644-1所取代,尽管如此,老版本仍被广泛采用,在联邦标准的老版本中(A至D),大于等于0.5um粒子的数量是按每立方英尺空气计数的,并以此计算和划分无尘车间的等级,而最新的联邦209E标准采用了公制,到1999年,颁布了ISO 14644-1,该标准已经被欧洲所有国家采用,并逐淅为世界其他国家所采用。
本书中采用的是ISO 14644-1的无尘车间分级标准,并在括号中注明了FS-209的相应级别。
联邦标准209早期版本(A至D)
联邦标准209于1963年在美国首先公布,其名称是“洁净室和工作站(受控环境)技术条件”,到1966年做了更改(209A),1973年更改为版本本B,1987年改为版本C,1988年改为版本D,1992年改为版本E。
联邦标准209E
联邦标准209E的室内悬浮粒子浓度以公制单位即每立方米表示,洁净级别则为每立方米大于等于0.5um悬浮粒子浓度之对数。
ISO 14644-1标准
国际标准化组织ISO正在制订无尘车间的系列标准,它涵盖了无尘车间的重要项目,例如设计、测试、运行、生物污染等,1999年出版了其第一个标准ISO 14644-1,题为“空气洁净度等级”并给出了无尘车间分级方法。
应当注意的是,无尘车间的ISO 14644-1级别与联邦标准209的级别可以转换,如果ISO标准的每立方米粒子浓度被35.2除,就转换成每立方英尺的粒子计数。
ISO 14644-1规定的占用状态如下:
“空态”:无尘车间所有设施要安装完毕并在工作,但无生产设备,材料或人员在场。
“静态”:无尘车间怕有设施在运行,生产设备安装完毕并以供需双方同意的方式运行,但无人员在场。
“动态”:设施、设备以规定的方式运行,有规定数量的人员按事先同意的方式在工作。
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