河北峰帆净化工程公司专业设计施工各类净化厂房、石家庄净化车间、洁净手术室、洁净实验室、净化工程

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净化厂房

邢台电子净化厂房峰帆净化设计施工价格实惠

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河北峰帆净化前身为河北星玖净化设备安装工程有限公司,是一家具有十年专注净化工程、净化厂房、无菌车间、洁净手术室、洁净实验室、ICU病房建设、中央空调系统工程、地坪工程、新风系统工程的专业化公司,注册资金1000万。公司并销售初、中、高效空气过滤器和空调末端产品。可承揽:食品厂无菌厂房、电子洁净车间、化妆品净化车间、制药厂GMP认证净化车间、医疗器械净化车间、喷塑产品净化车间、包装产品净化车间、P级洁净实验室、科研院所洁净实验室、医院洁净手术部、ICU病房建设、消毒供应室等工程、通风排烟工程、舒适性中央空调、办公室新风系统、家用新风系统的设计、施工、安装。

区域 FFU覆盖率 洁净度 温度控制(℃) 相对湿度 掩摸制造 100% 1 22±0.5 45%±3% 光刻 25% 100 22±0.5 45%±3% 扩散,薄膜,清洗,离子注入,蚀刻 25% 100 22±1 45%±5% 铜制程,化学机械 研磨 12.5% 1000 22±1 45%±5% 集成电路制造各工艺环境控制要求 集成电路洁净厂房是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该洁净室对环境洁净度,温湿度,振动,ESD(静电控制),AMC(气态分子级污染物)控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造洁净室有面积大,洁净等级高,温湿度控制精度高等特点。 FFU系统已成主流方案 根据洁净室空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合高效送风口系统,循环风机配合湿式密封系统和FFU(风机过滤单元)循环系统。 第一种形式在小规模低等级要求的洁净室设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净室则存在运行成本过高,占用空间过大等缺点。 第二种形式的设计可以满足集成电路制造洁净室大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速,风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。 第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间,洁净度安全性高,运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为最主要的洁净设计方案。 FFU循环系统的特点是:整个洁净室由静压层,工艺层,工艺辅助层和回风通道组成,由FFU提供循环空气的动力,将新风,循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层,静压层相对于工艺层为负压。此外,还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域,包括电力供应,气体和化学品供应,超纯水供应等。 AMC控制标准更加严格 集成电路制造对洁净室环境的控制有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同,例如光刻要求在1级的微环境下,而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。

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