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空气洁净度等级标准及规范

发布时间:2020-08-21

空气洁净标准和规范在经济和科技发达的国家和地区都有自己的标准,都规定了有关的洁净度等级。例如:美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84),1996年该规范进行较大的修改,1990年颁布《洁净室施工及验收规范》(JGJ71-90)以指导施工和验收的重要文件。目前,该规范在重新修订中。

GBJ73-84规定的洁净度等级

等级 每立方米(升)空气中》0.5μm尘粒数 每立方米(升)空气中》5μm尘粒数
100 《35*100(〈3.5〉  
1000 《35*1000(〈35〉 《250(〈0.25〉
10000 《35*10000(〈350〉 《2500(〈2.5〉
100000 《35*100000(〈3500〉 《25000(〈25〉

 

美国联邦标准FS209E中的洁净等级

等级名称 等级限值
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm
容积单位 容积单位 容积单位 容积单位 容积单位
国际单位 英制

单位

m3 Ft3 m3 Ft3 m3 Ft3 m3 Ft3 m3 Ft3
M1.0   350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10 0.283 / /
M1.5 1 1240 35.0 265.0 7.5 106 3 35.3 1 / /
M2.0   3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 / /
M2.5 10 12400 350.0 2650 75 1060 30 353 10 / /
M3.0   35000 991.0 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 / /
M3.5 100 / / 26500 750 10600 300 3530 100 / /
M4.0   / / 75700 2140 30900 875 10000 283 / /
M4.5 1000 / / / / / / 35300 1000 247 7
M5.0   / / / / / / 100000 2830 618 17.5
M5.5 10000 / / / / / / 353000 10000 2470 70
M6.0   / / / / / / 1000000 28300 6180 175
M6.5 100000 / / / / / / 3530000 100000 24700 700
M7.0   / / / / / / 10000000 283000 61800 1750

 

美国宇航局标准NHB5340.2中的洁净等级

生物

洁净

室标准

尘埃 生物粒子 压力 温度 湿度 气流 照度
粒径

(μm)

个/L 浮游量

(个/L)

浮沉量

(个/㎡周)

㎜H2O % 换气

次数

Lx
100 ≥0.5 ≤3.5 ≤0.0035 12900 ≥1.25 指定数 40~45   1000~1620
10000 ≥0.5

≥5.0

≤350

≤2.3

≤0.0176 64600 ≥1.25  
100000 ≥0.5

≥5.0

≤3500

≤23

≤0.0884 323000 ≥1.25

 

日本工业标准JISB-9920-1989中的洁净度等级

粒径(μm) 洁净度等级(个/m3)
1级 2级 3级 4级 5级 6级 7级 8级
0.1 101 102 103 104 105 106 107 108
0.2 2 24 236 2360 23600      
0.3 1 10 101 1010 10100 101000 1010000 10100000
0.5 0.35 3.5 35 350 3500 35000 350000 3500000
5.0 / / / / 29 290 2900 29000

 

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